1 과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스학과
2 한국기계연구원 나노융합장비연구부 나노공정장비연구실
1 Department of Nano-Mechatronics, Korea University of Science and Technology JFIF d d Ducky d qhttp://ns.adobe.com/xap/1.0/