Skip to main navigation Skip to main content
  • E-Submission

JKSPE : Journal of the Korean Society for Precision Engineering

OPEN ACCESS
ABOUT
BROWSE ARTICLES
EDITORIAL POLICIES
FOR CONTRIBUTORS
REGULAR

나노압입시험을 통한 양극산화 알루미늄의 두께에 따른 물성 측정

Measurement of Mechanical Properties according to the Thickness of Anodic Aluminum Oxide through Nanoindentation Test

Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2021;38(3):203-208.
Published online: March 1, 2021

1 포항공과대학교 대학원 기계공학과

1 Department of Mechanical Engineering, Graduate School, Pohang University of Science and Technology JFIFddDuckydqhttp://ns.adobe.com/xap/1.0/ Adobed     ! 1AQa"q 2#w8B36v7XRr$9bCt%u&Ws'(xy4T5fH  !1AQaq"2B Rbr#u67Ѳ3sTt5v8Sc$4ĂCÔ%UӅFV ?_Aנj- H>>,m*>fzp"TrKkr^r.|_&]|*vPuܶvoQ1mwVJUhu-I"=LniAƕ8"۲ k*ҿ[yu:.vUQ+)%F DHyVBk>Hy8jݹ q~9D4KRmzQ)^ʔ.J%k_tVi5NTjg!'ky|5asOȻ)R۸ߩFMԿ3L4j6dڜ#NIwUF]JqB/(FafJRzq3\G՛ ?~\ 6)6W4m[O^L0E&rRMض*C .]Unl-1 1r#Rj/&QɈ׉˩s6Rj=5Tg.y.·Pӡ:JJS:C8-2u]d&vUz;7p9 5VnL֢"y)">iי(IDDd| Yj0; LRfS:ktYK%*N2^m|&dğth":ey)uPQZW)gcC3Pv&MMWd&Ŵ۲mvTRoժM03*F3Yd6\8,\hݻ kߔi<k NTwSԪmljj[>->ptU%'LR>&EBH$MQAUx[$Z6vi&_a.KIQ{hyƒ j"JOC9eFҝfj;˚Ω<[3_m% lQ@4g=5$(J]Yc-OMq<Ǎ wSzڗ)k$7VIP붾ͯnV+卵*t]iЎD31~SA1éC2u)ʼnQn-Uoi3:grI8ؓWm*G zܕ)ZקJ}Y YlGeJ6cB2I NS3Q>k=KTBT]W6+SOXQgGR? telˊ%-Re\hѯ2TF"C/OJΩ6r[N.0{SpljjX1“jOsӥ;ҭhe}xu`Ք&.)yO̒ Fߑ.$Qw;9Iw2o+RVJMSOj[SoҌZ%;`d$blQ{Ro{Imڌ>3egf\O֝Uzx"䢸g+mv%Gʆ:|V[N'&ס-ޝ'kfE|K,G&˳98Juin/\\Qݿ̋v~Ǩ!rtWU d|E߫R4d}.qPw*Ӭv5YEcn~f5c%MTMkb-F>5JT,})QHg%{("ӔȸWMsYyWNRrkkJr0XドnͫT}r-jj,Ŕʍ\Q2Ri>v$5!]"JB2WɅ)]VԜUc8i|.jeRO6^V.¸ Q&#|ܶ-*uOG%JAtRZRr]FFG\۩w+?'zչSѧt jz>KW&ot{7P&2D;&\\>Q2JzܗAKSfeNn[jRrԕf6,q,F1tRfԗ>vֶևj-&R'Zi2=xv~Elbsvm8=ӛ"ū񕜈BȩlWau[]ٷBߨF~J!|Ipr3R̴#Yp)={7:G{+:\W}n|Q#%)7^-h"Ƒq:M*%J&$T軨I333׎g_- ucBwwjp[6i25$̏bU’ٱRv?G\~#Iͪb7<<}Ezt" q_Inw,7-d,G÷%T* Wg1"䥱kq/A.,_KhqŒxwvo u2ۥۧ.bQ}XκA$֣ +K״ZUNmڸII{.v{5z5ѮRme[moyƾd~cRݾK'j.\i&/S6f|b=5: p!6i_ 4j6=.si˧eƾtS^c.Y^RJVS-Vi3,esi08?H$GvZgg?gi䤟2adw릿:"۪lkSN>q-4kI܋ێe̊qۅgDoѨ9; #T.Q;7#~_Ufstb_'w~Xw1Xk,vcOt._}v}8"(4Z\ۘgk?J?bm_c!g{HZV]Fkk%~gEt)b秴vΰB|꽸}mp~E6ݹv;7P٤v+ri*3Ԣ|'O14_~7nP{7ZU\Vű[ +7󖱅o#:ǥŬ\|3r%TJX]V7ez¨Y]lc|O3V! R zbJ'PnGqVJ"19WVeOF埜EaEJωqCN5Z g-9[S<$sUK5b|7sn\7x qmv##FF\ w[=-43$^ooVSiXօv7iB۴yg>]Vf"r$J3""32!Zh[K%7GvNLs+4nB/B{vlsobJaҺJR:0g%&zR\ S3T[&ִor*ⷳc3ʊO[iozW٨%$gn:ܶWwFBԹjHP&z u&F2\f;ipW73 [; '_̽b;vib!oec dC-tS__$Xs]l9&z$2/N>%'[}b{h/{`{Ji׉׏ YJB/X%}.|+{(S:qz]4_Kѵo`^tY_4S#* ^zvݾMr+TrkQ g.8Ͽ^i>ӈǙvix>$o( ^qt*&t1oJVu-ql5U6jCЉmĻ*"?JT=K'O/|=Vo}l0b}}f?X[?/\JSBe,kP8ETJ==?.p5ފgbU9}ǶdNKk—_$8̸͓ۍ8Di\BԿ-1v{FF]|.^ۅ{vl12׏z7-R7wE?\nh\jN/Kձr_oBw"N QMBZqe-m:ӨSn6j4%!hQ;sv'm4kcM=!8\m[M4{SMliۇ%eֽR&N:{2A8)THLK3Zj[jPBx#BگMf:G1\`edcʮ?|w(-̮vXt,bW2;.ιNHRR#YwTM"<;mk\.foIDjmlJ;vxy7o7i\,KQŊ9d^Mmgc L*.T6tLeIuOH3SJQ3=F/ʿ<9\JM6mN6=<{xkP!F1QR[I$6ُimXu2An2yԒMU q f[IB-'䤯jYm52&JG\zд\~vdg QtHGXw&1Lw+nDEdC1w|YJmvP)HZ>i0BPβә?R:QO["]I_Jʏۍ>QKyu^bycBq4lXF~l [\*N>-J6,Gq(Zr5h]CwYӤU~ʶߑ u*SIv%ZfJ7)! FS*s_\|IŸZ)J ]ܜi4"z[+Z,MOZ))}|Ʀ(RUNIII.S'ˍO~˨rn}M)xxӕ0 eyҵ7YMAB]ӣU:/ѭ*6bcwP͵ "+qēVjŹO|GtY4V j[mLV M -m>",B$ GD1~j6O4|LxnNmqATNR3ε|DŽa[fmn-ڭ+FiK7Pcm;r5 l8r{#-]'nrFh2ruycb;pW=njRqRJ(d mnpckNnʹ+6]tz~E=ʕ l ZZ5jSi3#47.Lcfe`9؏v囜.F\-UZ:*0_<Νu9Lӵm&)_3\^ҹ3"1n1v_|uRʞͫr'iȧN_kH׺8xXrj=\МH)V\ˬ.Xʸ oVRC}ySU9/OBY먌5 ٿwޞ)rw8Ӫi5*5ZΗcGƱ !ZۄlmpjJ -l <R̵/JAպZuq\IdUS 48wXJJtcg4cI~aqߓwŷrm-v)G7yS^7H^-\mŌAq|"m9IBnF㏉9[N+mmy/!KKۉ%n +BdddfFF6FQRN-U5;Sv'm4kcM=Mn)\qιqUd9F%",6MGdT%-+~ f%+y֛^3SrF>6lc(֪vۊN;g._0Sѧ]ETWرkQKzGe9ʨsKA"yC y2\[5 rԭ7Gk5Mzw_4sM3hxЊ'oÍ5jsub )ͪ~tR2H]R͍>̋m6=%(˿(Wrr-܅y5(ܔJ޺YunW̹븹NsqK ]/QR#"ZMDfD|43Qw|._ԡSqTZBg??O Ϥ)/E_U|i}2 9Z?¹0:x'3,whǣ?C y-A~=daJј&M?D1_PS+Oi&;a @;Dž7[ zZC"bv:jjMQk$M RԸ3uA\=wI.AwC"^.{?-\NSiˏ"b}T/}q/ o.1M}R%:-ZniʒL$SgrBW*,Mw'N\ɇ{s\j]VryG'8f`}'N<*/`U숻z CwHq18J+vԕKss4R53/&XTt1bZƟo\=%nO)h$rBi-nKĪ^ ջڜlwkYm[̑+/QrZo%TQ;TLs($2C:s.%+eoNttq۰kK7O0m_t_pZ1SsSM7"mevFZ[w -FJ*T*jФQRg BSu|]g:ɵzjqwmltL.e3sRMچkSmjkmWœިm++¦'tILk*բQ D,PB\lI[9{%Gb R6öۍmX-MaʉA931cs..G4CujQտ[9 }G-xwl)IQz j Ó"rqe&=]꾧֎c)<kӳ+0JrRR3'TnXi^xMF Bު*tIL.[h"2"nKzZe'ZV/RrNYz]8죝n]Ķܩ>^Ժ]u-7^\mZjܣ9+Rmn ߑv?oꋘ?&ƪy^N4o=3-ؔ̿*`}V݁ ƒPu8%$ ݗ]wt;\y\>='OjPIp/nJU8{϶FNMsf"ίNqƹ(+ ݮF2Km |jܴZs%zf*eȫ?]4)I۵nR&FX + [jDh(#哑9q9Eծj8noǕZf\J-l&Z˫}`ӎhyrΉn\űn]9pʌӣ"׮Wt?N4_I_~54#/my1Xr*척aS#DT >q ssΛW;3oUaJSRMDgQnt:Ql,/ ܷfRqiM Ȼ>Cob;A>ڦWقM9X~/!'MW.}Vrߔꔵ!5|iB(0-zF=}okڢE$^wW~nokY߮\6՜̌{i-AF*9)\t9IV6۸5ZUF6R$ŨQIq砳YUZ]eyv >hI櫥N )&l JulwE1GDOuFN2| }馥uC1rޫV+^gdb&W[4<^e4YW,d|htͮsUM)۸8:{3d{AѢ)~ \#J=NdƮꮓ90 |1K$v*?мS ]i$J,C,SG?/_՜pMSƯM|mG1V1$~K>CSvkuj=&) -,yLjuFHK{c駗.SOua;BrSqj-ۍZ#'Jys7[g2z/.u4+XV2VQ.ޕ)$"(%)#Z7suZ%j }BǬݕe)Jvz8zJf:hIN|svO1O#IEcۍjݽ:SdὮvu^@:o^5cs>i/VqmVm]ؔܢn6'vޑ̗J4Wn@OlKbX ;n:hgJ9ŻyǑz8f܌q&Y fN0N;[69 rbׅC2/#kE l&2~èMR.*%g=Ft.%؝e8<.e=Uv{~㻏"EˑnvDѭ͜Lu3u0:U֝$[M5<:oi+V4V9 6nXvx&_ q Qqw3W:uϔ2yb/(ɳ|5zQiJ#r|Hw#.W?4aDŲ\ugWG;Cw鐢K|xg)##=O.dF˟jMUvWĻsr.z]kPc9"]R)mkfOd*uYf١RsB Aîh=k]ʳUrrZsq`d#r$/Ը3o^&lRWȍyuW̦Y4QDUMJ65ƒ[+ygk XK_±k#y:8(TJOSQhJt2.DR}"5[) r)6V6u5k:eXZmv𭤔!푊Q[qQ}ҹLE- 8qIZG|UM4j}Mܕ[Vwm{} Naqµ"ԈM zOpKѰ?IAD3Ir0'/q1itoB5{%wkOBn-ۜduqIzYK60{+DʕܞqIt";r1mG/\/ym[6JƫR \L=S=OT@Ix[TMm{>ݾտ֒ݸӉLYIx>+"JVNzx||5rI?C{oz8۹e\R-^\A2F R+N9 vlT]"ۭ d)t֞i #E2jB@׵=#/N+!ĕhx}I!cM`ąZ*ŻɄҒ߮Y.Z}='/oۙ3IpW̮hT7cTSuz9>B}΄&h!>lӵn~j˅IvU.'v'CSZw8QK3G> ,J59ٷ+HSg䧎hJdzvwv-cvxS5[̊n~ؿ%ַX?O0\6ne 6kn9.ϯ} *h 8_QhLݣ7q +=XBҲ5?[[)+F`=4 }B,sNg==u*Nj9k_GJ)+R~GSPBȒZ:(K]heL=vKPӢwq(NrG^ثϣ?#tC?.ͼ[ۅo؞y#%ǛjVyLSw%T*s92JTM%"YkQО.q)gCͲn8cgi6j1MѾ[{9h^vƘǚםidfi.^RHmg&rׇz:}݃}xT$ضk'5s-狶,\vpbPD،=Okf.c#cdz2FK5T!&)|ntD<+OŹU i-G[EE*FDfeaf2QƤM\UG_{ǹm%\yrGy:.\4wjPGUJޕUV7Do\7Vy_13w;[?c]H\$IJ,*L]3b%L{y.JRKG2sq,B6T}(#nW|km+q5] r㪍bJ@y{byz,b踊3ϻJ,'^xd،)JVw#.Vټc''ÝպWtbRؒJz۠8!o9IۄS95E9ؔ-e9JR{dmnッ<[~n${~Њ$W?&ՐY_? #a.ߑv?oꋘ?&ơ|y^N4o=3t=~7!/M3>n8W홎2M`Qx+ z qy8%]7_~540ۦ彷]Wq CѡwkďyF5Dum_}~P(5.(X,K9vᯐ?leB9;Jhm#3{CxGE-S{;@Fz˙]=O'!ɿ]' r`:7'2bЖ>Iy,/eTy/V<.H?UYY{\^#ѣr9^7?xoRȆ7EoS_&??zϾM?(~Q-K&>"~aߨ t7Emsϛ+?;fCr)fY+>z$tIkjn_>vnrֳki-˹l= t;'EyC¥|/BLwBJdgjۛ$s S1|ɍV%JI6KvəhzIlBYɒ|0"Sy0F>eo5W)O+X˻u';v)2vVq۳kۮws?UʑBǴYO漪e2MIjPAک\b1)DDؚKm6ZWΨgȕ۶yjڳ 2ضN[C[|r@9Jfo<_eI7q.|cÊV߷:i.:$ȋ)1%%)ADZCEBxJ0MJۥy(bNsKM9k43IwNt.\%N簤I'.j|ƃ2$grBEٌ\}9:v*!n7M(ɽ]7c@XxƱԨ37īf62cTTfFK]9wntQHͮvٱI/f|j=7}\_V5U^+:uljSȃY(XI.ȱmo1甅jڎIZ2>#\*:gY|4k\8ZwSqtyA!+];бޞKծË¥e)#5ap.QK^8VdU{*ѽL\=qmjnB5>{ Ӟ`v±5 ^k&O~Oshɷ,;6nOW>u6{RqS`)S%jp\ipdEBLfTWy$GIYw~䲭J.1vSY5z.V>^+Ǎvc.I[R{QsNR3ӎfhd>y?UJ*}~[e\i5U^͛E]G_FS(Iɿ]i8:4zj~շsW,ˆsy:%O}iur]iF5~3M:Ӟ#N06)4ߧgdawIotiz:1r5YDZLHBSi;NQc44la=Y kQIT*ըl:tq2(է9VO4뒳܂~2rq'nrVZŦ[t7\oլfb/mlpc.I8콚q^1iE~䰳mi[dۧw֤ICfdFeCsg:i| 6擣׋* 96lust^{%99UNRvaMܽo ammi$em4D6DD\nA%$$#}۷/ݕr99JMն[oT޲E"KTaP+HGkŴj5TM5xƱOS-k`ۛkٝWz;{kS}F;~q|~^_|euwnE'pSupUP)V]vE+t =ZRaVdG6= *.ϼnj9:UɷbېmF_tޫgHjVS'śǕًdkkѻ_]Kv?nT>)^e=Ar1'3ԔILyD?:-^in):{7.؂\.:V }#뺾.3r̸*xbFM aȵz 6SQ:ײj[ 8nn iFMw rR"5M5I旘35f^j='j:nNW.ʭocZvZKV^ɚJ.cM1ZI7E'6rg탸5oZ=[m Z`\hbMUR١Ȗĉ):Jin!_7Dй+f̷eKҷvͨBPR(V`y6tw*MRΝcB.ڭTnc;P$8nFvm4(D(R#R-L -2:FP lxZKQc6I("Km%$E, 78uXIFA$RQI$JbInG]c[ֹ:ZM+n^')JmJMJRu{e)7jQDw~%yQl}BZujSSf۩QZ+Dzhd5o%BIc'GZ?}΍:>Ɵivז-%݌J5MqGWTVʦh݇ܟ~Օ_6 n'{3~mϬj'J11OȻn߃r Qr\3y٘+WӍ'WxEs^O3 o~[|7>]]H9݇ZomT@]?5B:Z߂'`V_+/MSKX߆ޠk3?o7y:4R/7þ] iG߬aBRU&?r&/} cQߥGj2?C5Yśe7hU=?+ x龳f-܈czW^7p%-(\D4h{UK&ӡn^m]Fݢ:`δvj俜F+) y[{{ 7 tu>gvrěOj'5 iRg[ͶFjGe n~qT$ci ۚ0oԹc*jL[sVWqj\ݻ&6"WoK:cnWmrv)o>66(F>=W^bf#c zzʞtپy%mՉPël e}J.\Zk4ttt>oEM=q)hJjI=ͥ(%]脼_88ф;͛gWG;Cw~˘$4=uWdĜTثNDkiQL9U*O"4XP`02,Ge-k5$h>ܼ]3vr6!9RQPIVSnM(ۓ{>;/Qͱv{3&-[rc)ܚI$n{Sv3[j00)-D3z}MRzVQпj,T[uVs0\}Sid;r(ݝJ>æʺL&c[jPK0~d(FKÝW\m]GTcF|Iׁ)I3~#oX%vҦEݑؼ5Żv2qAZTE^..M{ʐfȏ2##.R}*KʛZz^ӞN*lPťLf\G6[WVQquV]XAi)5J!,$iJ6o$tPZc;Kjx_n3`qIelV~vLy{fn匋Ѿn%;zV.n'-ұdd2߽1bZksPe3TI9)$ԩIN9Vơ\=2885N\ p)/a柛w9g_lױo8ݷ iixJV& ғRi{N^_oAŮE6Y7I$Nk$|Q)-*4Z)^¸%4Qm [I%.c-OV+C֧R#%ѨCe3i;w$G+_dy| Fzj$DI(=OA gj%v/]8qԯNIS*֩',Q%\44ZZ%D|Ǧʴ6&vֵI$%8(ԬƾS&#Z. }6z?b/|Jl{ץv&mpx4Z$”ڝ4-H%dGKfM:sKSRWeJAn]>s6应-W9'H]'uȫYvgK^\czp|My\鏩w/ËQ.)]\QiS`8uL뚛̸=J"ܻi\å'-)54Ue]:K\퓡vK xwBqrH\*֕TnzC.mT=t-H]SČ~Nu╏NÅ3f|͡G~B+Xm[Q7U{9"~jgK Zoʰ7"qJ,ekSeNGgϳ] ^.6:s}_,%eRg<5⿨z{ZPun#jRІ.6g T.!]xa c#jN$Zpl̋H WZu8WmMRýsĮ?Mco~sx TU҆Q :KDG4n42.<3/'^?6/ܠڒ^yrrÿr2\D}}B]^E~^T cɛ7϶Y[<֞[7d}2%QPqOLEQR\CIsj1?\}%tJ0e~ *sk"*)&ۓEi#{1J8Hrt|'ܝRr8)=ƔN'RVz:cf]F7bZyZUȘ4x8,#JG̒?.W9XnO]KO]%]ƻ O5Γ/3qÓj؍/r̺rƵ 5\&m6h.xoeX[=<3%< lZ"2h\Z[&jW3ejm?k&[]ųj+{N{66leu_+lj]q* 7g*knأYv= q ەdxЬZ|%GUrQ3jLŒqET]1% qkXYūYc[7Ś]QY\jko\</Lc7+'hMSUc6qXyؙ~6#ѯv.0$BQi5YyIhɍiy=KD!n3Vm[V%W-B%swa97ajۗ m+9~]fKq|Ddaˑ0A]_v޺mM5* F-BYHJ5}q>ʉ.6hyDmpD׬'-_v5;5[8K[viJ.3dR:oYHHh9I7:۽fi+wm^ [)odPѱ52CZUJicSw\&_s0uBȍh32džzQflcd^m|7GѹE!fO5]]H9݇ZomT@]?5B:Z߂'`V_+/MSKX߆ޠk3?o7y:4R/7þ] iG߬aBRU&?r&/} cQߥGj2?C5Yśe7hU=?+ x龳f-܈czW^7p%5|Y:SJE\U-(a_cƣUǽXXKiȞNlmۊڭڄR!**ܤMeȽ$|X5(Ź\rJ~ܮ]>'HB0cp XFr_c?f?7<ukSgov¥iG>>䙗i.+t+bOjIܶ . i^:nm}s}(3>NZ$2Qg([".>i.ƾ)B̋M8+"- >eE6DݥJnJˣt׻ 5.˅nJGwZD~!i۶a,Db3ZQ3O#KO5/֍ozuK'GbRi᝘NV_ҝcvם ZoX}F6z 7e5_e:ۓj=AB+iܔERadMBq*ԯ DwI/Gy*mĥiRKg6skY/#SN4e$-yXM YL?^ĸNNӪ{$r1JJRSLO]Aqm>V/s[~i/j+m>z}eI"Qvp]{ZԼ:{vPAG2=T͡@ڐ#u"E*>C;o$~C#_d/HBq^YRٽzIKbOm\~żjFFGdiQ(*/i*#.FF]©m=BmpQQQSP&Ҫ!T&^>:y)$ˑÐFčI Bӡ-t!bM WҦŶ'UZ=}zvn~oT/\ǒ'nr8 AJIӆz<^uߖ4eFC1i+v!3qNyߕni?4JZlmYFXFۼO0B\m[ tʄU3s"Sr(NJ;SKW72L4̏BVdf^Ҹj\]ȱ۪(ӷm?J-KEmWڽ^4<8qu%9pŹW~877ܾeVгS(յe^C]yX͹! םm4FGȋ\y'Z FX7e)|Gjt߹#gb\ŧq_([R8[qU$Z (ʻezV2V!iQ,i$JE˂٩ a(GK'O{vnBvryRd-RK4=qxZJMl_CuuIz @Rt㮽޳!|68\-l[џ84-2Pu" RJ_^OL>G1~XnBŬw6J0*Uvlږ1N G1q9IUm*'oWu][&UyYZbBZRZNfEJf"+2nF~Eû7n1xv.RUM$6 lAxSQJ&n5ܞwlEói"#>4׿Q.nEq7Oko[1wg8ZQwZYiqtm&~">Bo?w͡ni2峋NCEy Ҕ+%ZJ ʩq*fpˤl,~^Mχk1+:ݕ z&Y`KLӪУDr3[*Z :(SL&ݻ۬Vqsyԭs x|iI߽zZrg.:mp%6ԜvgmpIUt;QbS.Է) ǨKSV,*lڌ|5Jt3#NP.=+OZ~/G سIgbꥹJnl_DUM\iM!֔wVZuԺ,yV.Q>f v:݇WiaŸN5Ҕ[M7SsrvǣrMW= \8ZW-jsnڕ.ZnF2qt ً[ٻޘY۷Zm"Jxr&NAfA-݌to9s359݆mZ+N1-qS$D=17 x׵+%_ ve4ir6Z$FDڗnFtOr'7'{9C˨ꤡaYoace{Refnft RR"4%ʌm:Sj3)OdInTO>X'vxV#jܮw9Fog;5.~Y5\~18YQܹvj4+~t7S ﬕs %^۵ڴDZV69R^Y+rj$ԇoJKR5wB9C>Y:l+EǎS{ʲ{T6Wi* ^^9k/y/Cs\g*qڵgn4T8mERr|Ti+iPe;;.i\EBEJ 丬i9ɧM-ԼsGDrZ>r#R>~X9y4b棇9JwV۔%m(b[Tjvl}۩~nDԺ{Zo-YuK1vx.nWuO+jN [ٮ0%"΢CdTJK-RަH"$I(*ve &҉FzB,_Vpqp9m8werv')E;o&QE׵^d9˦j\_,ڵugZȻ̧8k+jK{wmr@3ӭ2 wFkzFVqs1؛.v'I%$[iT]D5Dl2 nk7qUxԫLS+sا3/ΖeZYK<["%-g/kRs:f3;*E ت wJ%)5&+&rw*霣i|sMҴ|;R+fm䡩.!**dӶ-6s6,]zAXMWjmnz%SJߴm2UXw7MQ%<!tKys#P,W>s;3IYwx<+i_\\\U6 u7P|xbn_k&ӓVOe䦒 VUr,-㘘"-LZeOSҠթrEvq8Kf%5%&K"#%vD/.ZYYŏ+p$nZkvއuW9㓱Z G wYIFyf)?ƎUm5ԉ/'k84{KO:rQI}XRuԪ|*lu)3qZ[mSm5R3".Xcَ5c®ࢫI*۳~wRϿQWޝ(EJrri&ۥ^ʶ齲Im|[yb;mnm֩uiܘq>E+Ikx߄3r33-5𹻖09ϖ9[Tz~mr5NsWl$oPusޛ^{Z;);sڹf\3oٹZmԉ/'k84{NO:rQIBø8Bݱ3n֤DiK4u& ofSȒܩx<˘|N0Fչ]qsp"}! QWw@t4ӭ+cO5%]'*{eM߲DRO1y*q8w++e!c߶ܪlZWّM欼 CQ̼빶lX{vib/V/ ai;x6~]+z]MWB>re-:lgk}պ!#9?%܋V-c[z!W?c7YNm/jRr[HOzԻefճ0q15Zp#rkQQ0tU-AmڵP/cȕ?0cZYj;:0ZM=D6g ?'UN+ձ[K ܖB2'xq9{|۫N0ku 7xaj;n\ 2[VznMlWiKbSk))f..)Km)&bGZ=>OR܍W:j'rM'wYz&/鶧{Sʵb"vջq[I-ՌZH._x*BagC'T(Q:$ͳQcMCKy?3g'ߝqnT);qs #ؤZ}OOI:cfnc8W~qy.;^pVl]Hԓ>^H^@7-AA܃nmL(uWܻS߿ Td95Bdh4t6*dDh!EhI[iŨ\L.&Nc ܮf^;$R)\rip9I|ٺ?#R.ZDZ;/]nݻqs\QE9M&Bd ]N mN*D>tgbK>+ˏ.!23]BȔR1ɝ^j'k2ƮqBQq[$di]icV/e`޵B.FIIJqbi>Ӥ|p; 6${)RU>_e}^dzdfzi %ekRVUS?6'hׂ)5.\+qUgzE2C˷ecŏ^֔ibk shesFWJ#~> Wk~ݨ}ڶ>ơǚ)׽ZƉo~B-ڼrvoE:Ʃ3ۣK7+Y`WirS):{>ڛ}:wԨ(J_";6R%[u&ƫdZ_\'np| RJwNeTW,=rrbnkڄ[M3ܴz)3- R.?:okۼ0TU'w{6&w7j1z3ON'fGoO?)S_bQ_¿R(^ԴԴG.EtMڇ&RUiW uQjU> Kiu1d<ѥIQ'RQ1:O/lŗᏩiʂv&Jc{D5 Tt)1.n[n۶X}RjqnOʽ(~[Ns{ސ⛌uO,kgo֢dRNQȄ .'6W!׌P朼tdZjFGE"]K@'i۪N;sI[{SOzk>`rRR+!σj8&TjlvA̷Q?HyjyLHNտJMjܶT۽lG?SnKN%<‘ nq[N0Sq[Ta(&t(|HGO~gvkݻTR4&Z$#ViOY1r$6YF?e4U/Mvxų:zbU^gQQ+NW_'4jfz^c'#`rvrڡ(IJ/J ݦ6 ]-CW |_{v*_q3^DZ}Ic6Uڌ8p7{crZq5ki`)mU6|-Z5^iEz3P=:Cu7DF'k%}<C-޹ֲ̱#\,(f88%X-N(ck0VLR~} G"-8ӏ/ϰKq?(#nrVTmZ;zióM4 m |UT'C^_1X.gXM{%ʤd 4\ovN":"y-,T)fLQgۢr=/CƹǨJVr[a+!rT|%Y\ٱzsS>jͱ.oOc6f$q% ǒGo;n[];ߎjrk{~\VۓNIGn:iqxo |~t5)Rxעri{Vi&NUOl_ѮMfsޕkЄay.0P{7N((BaIP$ K"U6Gl ݙqJRu+qN$ m#*p<|{:>-Ev=86N*MM긭U*uѾ?/^o7;'u,h4݌xښRM:5.(/ \իU.{F^rmF-Jɷ.>Q"[4xT^OZ~mK}T0ݛ^SAo9u?lX(' qj%=X}"^e4wˠ|rܫ 6I\Ķ;Ӻw!'ڍWg{ i U_9Avhۣƾ+:vs/MK[ɭīe{`Zgb}r[i'GE2J7Nez579wRq+Un ]J.cJ4M:h箽Wxxm^ pc\wcN%'My $$| :$Fqɏ¾^қP9J6Wxvu}ݵP>Z'FFdg"-; [¢cmWkÎT8nG%ݣ7*\խCLRYZͤiD&J#'ehbSyXK|y*ӞpS̍R`[pTr/Eg)K+92{_ n3zwz'oŸۤ+sOj J:`T>Cf*lwd\fYOP"R E֢̔L4ɥ :;.b(B02rJ蠟9>V'9M%)IqnhP<%,r'P/vNSwr#w"ݨaqc(|{kd=^0jTMR2ULNz|.<|^PfY22##!,K~E BEJۜ&jRNsHަޛg\r,v؜.jK3)[EJ2ii{KEiHP^&]Gn8x=K}Wx/KI9-ϵwQ%spܾ[^R}S3$qvq8M[ ozKxcqmJ/ӿ{_}7&ݨ\f6ZSyQz& 7ۉ[8~UNn|nkiTB+4RI8'Nc%tn{!]Ȋo.nEmʱn𵵥J A+wy#+ikǒڂ;՛s85'KmE:Ђu""Iģ5p=БbTY-ͽڔ詻ngL2Q}$de# fs^o{DUUsfwӶ;s1T,ǤtޒQ\෼J=.tKU,7čJ5 N$y3kdSMQU~mO[03 $zAڟsF5^뜞"Կ QHmrR"ӳηer+ҔZ]hE-6Jmt'ޒ=O[sQj)6K}?e4v_KfZheޓ=BV[bY}lݒTTЬ{ȫvO_qpRApVŗ 6ju=*BR)g "O1yhb=tqJ gtm\b3RY+JQ^Ō֍\յ\>+uSi{=x ^w;uӘ#ĸzLn*$anok߷CBӷ}5Yqvdž<( "_OWit5:EZj2 B ρ1̊fi[n!HQF82q1牙nqnEpT(2RMoM4ϳOu ':֧_Xjsg jP^(ڙ{2%E͖j^}ZU[Q$'U) <܂%!s"m R'G5M0<+zM6qYm$ڕ$3ǧH]?o2N<8F1̻r_my[Rf59NjpzBnl7*{.QP 3N&^BLJPjAHCK2Q}$#~YMq8 k(MFMU)8MEqTy+Tʞ-ar5yܕOXw!e;q-Jqܶ䓊Y:LC UE{/t>r"lI9)3KJjϤA 6SEE$d߇3KG*En|P\ԭTn6I-ƍKTj<1H_zwGr19wF N8ݝ+a9ɫM6mhePi%mmD! """"""*1bRKrD"vnrM۫mmĽm]ӡiG~e"˩ lhRTMk^MX["Jݱk7_ޕ*DqĒ&flՒ}`W}~SմZ{ĕ~wm*/{{ѹ_-0ط#P]xlڱ~Tn5wi*lڪ (JxioϏbqKYR|!|KN53 OS222$jzww%i}>N)E+rۥ7c$Ofl/LNث\6H9: FY󡈾I)fB֔JI_ ֣^: 9mY{66㒢7Uj]:.-os[R&gMF3˸#໹kmjq^8W"PΦURjʄWa˧T!͋ lW48JB2ko+ /Nw QwQzQ ے%$ޓ7^YL|r7!v%Trܥ &|M8~ybrn[RV gSn{{*#2#ԽᢏӴHak" ӌcwҜw&RJ07ױ>Ļ =^ BɆ)v32.M1=#6%̠tҤnzqMwԣ~s*%-j|_m*.Yx9Sz=)qE4 3pk+,`=kNRڥ=B=nŔNAx)Q$ԩȧ4z3t#Z2lҮYn$S%y- JzGpu|LBV7ZW#;Wwipܷ%(6jFG5#{$D"uۭ~]֫SrD܃fҎӾ+Tu>-ZTQ& N|$沸ii>eRWݳu'[O̻j8JۻEѩ[]vni= ڒ,[_%kC7I3Nv$4ɎЈeٸoUu:[}Do5|zNq=Tre%ɧ6&~DȍF]ƞG5q m]/w/ \ʲr8=oʔe9U(W"|S]uZd#?Se[W"ֿh][-7Nu:T=)R}.;ml*5Dlf $fF(̏T hiIUU4Szɕ t(%_|2 ~6eM;TƗK[f&]LK^CE2[ȏBOd;Mi|cx,^6;sیGpQ\NuJIFTJ~đArh* B"$H쉩eXPRj?sl"ԥ)su]xpԴY%VESH"ЋJǰ K&5^Ukzׄ8kEgS2h&Se\ Yl]WҶp-ZUvi7QS:4byqOo+[̺腋[6-_Fo.6[7$p&^ _GZԸߍkc.qqoI[9m߸YxOZЦ1uoiSH)P9Uʄjcq= S>֙NeR><;+ڌk%_qT].srNO?s[=vH[]RZHRMtᩗVؾ:/~u)ԍdg%=edVrISb{6vSu=(ܥ)mTv/J}̇8 S3ad:^hBSf؉OɔLhI_1d8,L><_A0y3rXq"'(۱;mFNII.v5_(^q~X>y{3צ I*Vܛv/jW' T'NR'j%ꔩ:mJ3SB}΋!-H-RJBТQoedi9tjENenPpke.%4]#{:>mkEɱdYWl\\\'nRM4&U>?Ќˉk÷!𴪛]]5}UqG~ݏI"O~s6(Ļ)qO~h}uԕd}Q~G,oE!&G&/]_H-O=o{k\̭bkv.Ô܈+;arZx)m?M\3lU$mk-CFXjTv6u' g:Vn_*qk:VC A%'4JV%EY)#BғO4<e׿jQQ]yUr4=wm[K1r׵%Iũ-O}|kC;/VcݩWZ)EHdžTru]8hgĵ-;=>U_ InvTm_jBM+QiF"9*{DI/iuo(=TzϖmPQl_v4z>T*ȴ>YF;ε\t]EH4ꌇ[VrLzef 2T^V>g2~kg5~Nק;{~Z~W}&ŒBӿS2$J?~(Yœ"˲ߩ\O]: J׉ښT{mmIѩn3˧)4LdFZ/zUG>U> n 5& ϴ-KJi2o]uKljvK3$bԔҚV旧iY5.ίfi96v7!v))FJM4{jG~Jt/lUE%pTAFe4qQk\ve۽/u/Im+W')v{\-E|Pms7߮DZRr۞/mu*1ՙaB܆ -xg3#6ۥtRogʌU)׎]ZҞNnŞr}F1Nnޞ;cZ{N}ۿMiuxʉ*3qi'9KHQ$WJxXyرŔe~[v5~/jN9Q4o6rJv FrdxM*iRjMzUinHdн7ᾞS=S'7 } ̽zt7K|_g J=Lq+/Bw_\ۧx\HJUPzQ<hqF[V0x==CsU7q|^ {)Iq38$_A(VgcKu06Ƅ"%i~_ˉk QCܣB8Ku/񋇵u([w}$F|8TՠI.E !;RJ^}MɒD_q2];Ɖ{5}*n7nEInO{Mwv}&q+v [V}Ĝ@%>#dXQ$f;iep.GquixVt x6bj͵mlKقQ[T]zs/&yەnM'W}!Fp_d^Tu N{ɻ'l{խ2.sTu{W^H&;1s)Pӛ6>$mě;Łnj= fLT)>׸+qReɴ[UR\L*P/!$Ӊ3Q 'K=m~6XqW3^W+ųO_[F$rR*u"T%@O +%# ]˽!aܽz{ͷvQh쩎]hGތ5ɇ*DzJDRNLi 4:{~2FmXY-zzĽ^f=]uū{/+&c:Ma{ĝDp2m܍kHș/(--m_vݮK(V{R}.k&yƴ7i^4@3f sK3^Ř˸B=]?gt5KbZB<e;kQLpxuWC}n 5ҴepB##~q= `x]KWF {GfŲ}?G.I9pjWkU]>={7q{kO/^I3==f1ɏ%nnʫ/Zu_yXN<57ۍ'vy/"8넭M2eԷ&Y,в33%IkjMr7xf nmQkX4踼>a-GcIeތw&U=-:qnW)z¥j :WqSZvԒ#j"KrIU)%qrmRoDGQ~SYRsu*V)  ,/x)MFD6O#]z 96[Ui(JRfw'y$GeUީkdMF-ݻ98F2d[o{Rn0n-xsV6Dh|Eb2E:KCOӪv4SJCr"J!!m,hRLD| ZYFm/X~ΧfrN&4Ƒ=Z9Mh.Mܵw/BdrܥniŪ8ɧ|y%œ[M=_tj?F!z5\evM:\ ~F-sg钬OWq“iiȍ<Gi%%n2rqͻllƑ)okw7}\Uk-:&fj솘XerV9yZuʼşdFC=rmo%~ZN78X(N)_7.Εn1MpJ}62jjJdI";R5&iLԸc:jmqiQj$ujp\{;v5B񥍪Xn Ą4qOERjzN(Ga٠䌡)p*v(J7#ZۻZ8O W uONb+^Qipv9GvֽƼϯrYƖKGJQDNPhRJjᡧC"21"9ѓS1;R_O7/WGz)8fE%F2ukmvSov/iZ&/]~KmI[:^~ͤ\kMi稜\ywJt3W7 8Ʒ~ݥeFgѼw"8VVSج\뻆}ݭ/J6Q)d|)zU3>k\L=;ow֯gN3pKѫ|wmkZ$z^2R:E)f>ς нd|#׆?\ǔpV{;\$ƵE%-ͪm0S6[n< kE[}mvE4DDZ^$OZ0*$~XUv҅B@^?]so#%ojw;Y#SxxueBگy v^i-)s)zV jC{7Gt.w3v,ygg8s]aE_,*E tY5k٨h=o"m泏:\6w噓aiL׎n^c\75AGkЯ0Lf46َ`egZ˓p/k;̛]kq!ݸzpԭG"}R9Ve>ˏHUjJ-&7nrnwG*Xv\˱/vN}O)ʼn&CV͍f̵]r\PMB-6Du-#RͰtRN^)mT _}nSȕC*_xBuTkJW[`ɩ`ejvsngP ڻ.-WUtܑqԹQj)t;vN&RNũT+8%IXӃ5fK՛-d9 ]CƑm|nZ-6=Hz,*aEm W3VzRšdY~Xf׀Xx"]s;)5u*ُHB BRGS6bݶؿ 9j[1*jױga7oX CUI%0v#~\-O-Ꙛuɷ쏪&5mY٦M`LJ2qK~HZbr =N'YobI. (^ ׾{_ ?OJ`S`3BN[}5w6:ǵ/iSlt=4F*d&T4y/#. ɵim5Uֲf 眕6Y7 fơ=3dϕq뚩$qTM-%r!$@A? ޾V0c~{[{;򥧅a~ڵ»&ڄv1ek=wb MLkNAԬw-x>~/r=e73VeVN)K%Sښe"+3uXuچrn ֺVzscJ峻m}vb㶓n\YbIUBT%*,0nov=;z꣓S/nSXSpl##k9mXGrZv^Gde!ŷRԠzQyjC]`gToPov{j~KRBMY}i[߶9KL2ԉO0K#m>wB[ٍ+n[[b٦DX ݲpo] [\m5qdT()mo4Oy9Ie b][wղmM~vmi۱~t \}$яimRk(L c Cvk7r9_r1 ;zv|F@KyZ[&jEji/"6$69ml#e]9s\{ScL}Ȣؿ0q/nZ*t,CLoD߉Njǚy=Pgmu6^]l-["çUʖMlʍp-"qmU>۷uFOJ%Ǔkx 'g=睋k[3u,{³WɘݪF]ՍeFX"Oy\,cچ=w/gn Ļ]#2? vqy-gXnR.^}ݺFs{ŝG]}e|#0mjx"ƬWكm?rgU^xVB":Dt>@LRbun~ݭ,w+v⪕;\U(RYa61>#Jm˞Μ9g9XKaG='u8gf}'qy#ɉw J]We.ʲ-<+&q%s?2dњztҼn`cΤmmqMdz O[-ߩӲ&;[tmܝVnr">{x<8U+p:Ig]zjGkt,uzf}dؠoJaکqEq -(:d<պ=eKy[˗^%ZXkX[C2߱\ITTLGzANM￵i]K>UsOGDDD.ZF6* ҃V Zhz{'xp^`wo8r0h ZmJ5"jb[l=yUu7-;7IT%:jFjߖm0tzU'K)څNۧYJ)4IQ}^KWm7kSP>q;ނ#)'n7&׊r?óM{IwR\j2Qn[v pe#/tAF\ϵ225q֒om6z})6҅*oqDsMf CNIN=T S2t,_ѧ}kveMF0J\Rnnݙܹy[rUc-j{yGtkQ%s]5qB.Nw.JN1LvR Ui5J ZESQԙr):MJ+g}χ!2;q([jAud][ljVK3$ײSJI=/|&tl'*n۽f.frܥ jQO8>&Z];.|7T/C}$ڋUmP2Reҭ8hFF\L 3~e v\۫]ݝNmrnB%*]Z«hKc=BTLG :V74$=Ǘy+EX'4tn(I:Ѝ;Df8c,k1%dJ6.j6ź{N~l6&*fœI7 WAlGOu-ҢH,,(ǔe뿋쩨kM܍ZſgRvQ' 9)?n|er˭|I|-fGK.rΛp8XV1%K6mvG+tc+qE&ǸC_Nm:l=_/m5^[dߌڇ.c<%:)tQ$Ow~-aY;UJ>=F)2[nk؆?훐M=l6[4(O.]2#-H^n#->&mp5~Fӛ+|| S,xag%qkEUzUgæBhߕP(7]kFnq?֖CpruZ6*rEڊtS|*tI*E}7R<,nUU֫^I7Q*mSly%rdȓd8hE<9oHhMfNSRj[i7D[Rj݊+kდq{"$$H?p\̅S?㭻;t~R߁)^/>Qj`yt[w ԛ;²~+ߔ_ YW~|o]?x^ᯛ `ʼn;g)T@vWn]>&4lp+$D̢1l|ȨF%-}.9[}w~ ԠLM9hСablfe&QoW!s?wjLK?s7yO>(=C~_nyǜu?v3vyo oI@qV-jeES^[9WoSܝh"l2C1a͔CiJ@3:Pճw=/7ovuk+\V;lDgն<[A+rX~d;m!_s8ݖ׷;;.0llUC+?i#_crʙ1~C.\–q ul8Hܶ2m`ܻM3Tov|Bs rɵ"oLS- DКw=Tv@f'6|YlD͓Y%׵-#Ѯo%:&!3o%\J<02;K87>^vgƓ# ;ݝmz^Y6=PS39U%~ &f# }o!muH;ʲŇ˷yvP+&.7e[3'vR4Yj̗IZ`e˽3o[WU{ m[sUbۋZǾۆl6~9'V*.\S2<Sd*zY[aŶ`]C$n.v^Ʌ dng>ەZ,Mmϑ :n6nϦezWqUJ4! ۇ4R! =>>Fn|Q[{pRO17ƕ~._I''00k=b՛o}Osðc2'o\3}ݭQ^2 . R1yKȣtAݿ-uܾw!`?1Whn|gzUo[ECWwjUIן)^h#1ɭ!/Z np;o;ΗŻkXs."6E`Z1 עӐ9Kl8qd q} 2Stt;#j>;խabONŗ=fwP1j)l6J̶|gV2`y/0E˛6+ԫ1? 6}KW c\KoKͨ2ۅFw–s*TԞLיuDx .kCzWXhy۶gLu|%TnupǺl-S* PRaLnT+c+*xl.v!.U=|; !_L̎뱚U=4hm:ٯ"y)$:>%(n}X'p[ȴ ^˒4kƓmzDx \ 'NqamP7nyN݅=j7%McSڵj%STy qXymvCg{w/w=wSW5r̹u erծˊsOm=DhEҚRb#n)QOxtվQwe]I}wCa'"[ۂ-z}2UuKP$㜉ԧ:mc<Ý>RoL?wu|%ҷ&K y_!y9 ??:tq3(UU-lkS'ɸ@jdzQˬR] EVPW1DJq2n:,c|ǻ̑;y{X,ۂ.u.b˕u.tKBjQ"[S園S`ٮdNبeJ&9Ơ ~0a(Vm٘L+Jr*vڑE( x0+tp˕ n';wm-ޜMOxX>{#2%jgb2M[`K*\5@8l'e=0u+w ֘鳾{y܀:R*Ya]"Ӧ%ktynlۣ65,3gU}{GYrb;ge'TKwǘ.,rpܚV]Tr,!dp /ԺU,xՉ>s׽~W5oTh yx?xrrx?)?ilbT׬,z$Ԏ.UH٠\U1pU:]JwSrGZq8àd驐,N67QYBӢD㏙W!Q25ϸo9ms-7-%3CihO.J鯽-;MZM8ku-7k9S$8]q2E(}bۏI[DKOK}3KUB^u %Y,u.-&f#]'܆o$x`Yu,dzwM;#oKxn;\[d7}Rb+*Y䛂ZuBӱl{j0O̓}LhK;[aֶaGL{Cb#S.T[>߃F]NK"u^LUʐ_ykW?!GRj29͖qa'0[npcDvV)qz9R)PۨM^aJx W] r>];eN3vxdmĘ(5W2K1䪖weF{mE/QP6\u54x5[hۮ-Nk”i[lUgL]J}5 S:EhiUrgHl!ŒJ$pe=q^b͵Q' ?6|R\,JA ڵ"TDꈭ:ymg`B5t%M] <N_zv2_Ortٵ/i/ReӮ*7[qүqEG* m"[I:6e^p"I$jԴęh!m)]GZkcjS!{e^z}+Cѥ9;R|/ֱeiUԏCNu2Zhcٗg$ݭwvr P8*7/Lk~I'Km1+MW%Bk|oOm>-#qj*|Dbѱkn|n{v#jĮqNpMIUm(7Liz;{ҜݞڝVƚVϬ+sO!OstGvxӉ']uӎ4g_ 1^-8ۦ k!)Ύ5O;YSB#2Zzχ;<.ֵOtge~.(RC#wFZeGZٸ6FFJ4e2ˇpJT$[wgV)q6muDGJ56q\I!̗ y/I~RtJ9kJ]Iy*'FN0s.[l!fw'y(7$œ WƫgyΙdMEU JQJv̋vmrۖ.jWR_M֨djYgSj0^\y'EoECjm$ IƩK>Z28J2TiJ2N#}.s cArl嫶nB.FIJ.)۔\ZiM>/hLĸ=C1s[?YMqp|94- 鮝𦔽/k^#NT(Y LS$6˩}{;5 )B۷W$qpN)qqoot}ZDVә;7TiK|6f3h$dԄ}fqݡ>Nb򗉉+ͶO]>ߡ_VtYf79ڰիF sq~prս|QM)g%l0ocJȨHz V;Bb/kLAcfPJ,ԭ{ƍgpjNR6VSI*$!yV足jᇑ.](EܣqM\qJ2eZT).<9UB/(B0j)mtKEj#׿fDI-=rZړj|'Nڤ]k*i$5qt"ݙPM6E4ke^Z8ۏhz$Q(R Ay2zfRñnpnkbkI:=j &ΝșW?׵d{+ύM'??XqeeĽ.[o=UxFS=ӷdZwenՄ]_X=ĭVa* pKs0ބۍfJ3 gz̚i|wnxtjc¼5${(1fXQ65ȼb̶Zkn>%FQMJXӡ{TZEVNᖣimT/37cNJUPnP҂ZOE~"-Rc4^b- FEͧtf5[)S!OZIښݲ͑;tvܡ+N)AR=hCNn;wL16-:特7M$=Tҕ-.R[HٷnXk sn[ҞD-0WS9p9:-Ϸ-jѬNu{ҹfv)[Ľvwfg(ٷfe+0mYj8Q1\ݧg]Eǎvڿc!4#j5̋C2"}BRriFp7=ô\TZ:\BLfj#I22װ<;صZl j 6:l"6]۸ K'6RTѯ^ئOԓV\?$x7s#r:Oh{ց=MmuHԷd{pN /܅:UE#Yy+(SgQ(Щ)RHzw>^Ѿݻ>mK&^ '$Jۻ&w%F|xfz%˳ L~3N?Cy9 v w/{ƿ kz3x> sXv}vP"@WyC z`'톽Dw%-tt yVY\wmuPYQA0iG-2JP,6/gˢ]u.-n!Zw.N7Q]Df}Q0({a\@=i_X7gFǘ8^⻲}G MZ1)WEfO12G+=-B@z\`||w6ċj߬m}UwRox֢I &c~XGP6Qndpvܻul'V7^FJt^{b^B(L~sѣ6@߿^xqU!ڙ5|Vpvef-uӥ^3  FSDɯKD%0r}FF穛r7 +o"V8tv̖NQU!5uFd"bCr^bJ=֤fM#ʳԷP0O-9xRBm\=`r-:;~3Tl(nXtXi%2Vٛ#vwqƴ`L@"H‹qW.j,JM5B[)WܺUeZFqc'V˷1W7V̾-MHФwn8N;HPSdݷC7&2j.W\τGŎ'Vb]c.x+Rx1%C2T{myg[qU|+m:M:շ8҉yWd)ՋWS%%:iqlʹmGwݹ WnNŤѩ5(9hTٵDdGUi-)vSs2 2{OnT$Xck n:¶(lASLeȔBjμPpTb2~N2~%^k[ܗ[Jzs0ӓHBKq[}JَA-$dFQgjxxFv4r/x*Rm% `4J(&iv7SkԲmSH1YWmx 8n.k']:Z˭_W >ڃXЩ. jTq%Aā[E}amc]D:rmHRiu:uӚӢ\p(5-q%e)(۬ҖȽIf<߽pr&ݫVfY91q2ĭEQgYbTGQ&,yL+N$[q*RVۉQ=FuTܻ>f>f㋳8N6$܌n)9&»iˤsX,݅܍ȩv+sRTpO}d?Wn/Inpȸ%O]StQO|v5\}7Zwb.AIVK^:wb{[uݯcytO߶S<{8KSRׁH̏N7ۚ[xkwYy_'ZӵF+>쌛ZUĦreE9F[24De{}@:ExWs-\ǻ7K-\JNvEk%:s˙#κ].oͳ;լ7wB6nwu:$L; DkI#Wz.:Xp(˅v$Sq,wn\qIN-e<5Oe+vuYTpcojUI_ާP8 O 7&VL8z$_B-H-[uh]T{|8=qVRN-:Ij:7PUtXϷmy鉿:RIM~33ӸS2#׳GdŲ5+/Bx{(WzȨ5Y㞎#|˖+ ط.|e<o/rߔX>7s}VE.OVti׽ .5nNJO"95{#q}Ay9do]R"M6z\tnNS-D!@3N_jicWsy*5uٮRcWv/.,j}=S)j5C^> Ie =gu9ӛqjtz]۪TMoߧI!Ǧ¶m:,"[L!{qAv-o 3{"KʼnrIkfٶj2ƙ؄S`7` k6jzޞ?e5G&6uʷ2%ԒRKE*G\Npom F/V |C0.q_eenƣ<5Oh'67ɪn[SĽ{ڔjǘzs;~׌(ۂ`ܢ1ƣ` _l9Va6%UQWh~P~\F^ZHR@:ۧCJ{ôGeBh;~ۧnU J\O+n2 RҠ)ng}Kh{5+S×ܛ.1ZjG)iRȤIN 4%{oΜ/eO[Nffd ĹK?nnԼMqX'܌nZvq<ķbFnͪaQ`5 s,M_լ?-@_{w{ӺձJ}GF[%v\5[ŒGkOw/ΜM9rjË%2+rd~+󲕛C9U۳r[aJǭm|˒LAʨSCq[XMۺoubfp:t+ΤĻo ][ zt-*67kvS7D·MMCQXm;)܎n_h%]4ܙnRk!]ڵsDUF"`R, &#R_*[z*ZqFXɻ]7|۵w+'pFDەs=r./ᐚm3Hשy yD"jHCr':sA65نѮ^o1V/ f;nFr3VM)e*- s D'H݅fӧ\*޷[k<7u<-]֍Q8R h|p=WlW3s%Q %3l}@U-K6f-NϿu|ڴmWN׮[׸F*mW\%r! C78:޳vBG7ŵ.JթԚ2x)ST!řn~9 W:Wpܢ件{xf8ٳwKE ҰWxVB\qBZ 2wMb[lGSnyԚ~z9ZmያvoN2Afnݽjf>)j3 !;gOYʹK" Wftڎ+׭b*2ϻK>ۢӱeyԪXISUm[z+ugX%0lϏnvg!;t{BqPj>PyvR7Cj]O%+ݲ :qiMj6W}3vC/R=4Som]ŗ=ю, TF6U_-\6MyskwMr&Q\wjKܩyMϣUj0*}RZܷSdY3>Zjqj6TgzpA/M`/Cmл,޻feE[/+uk^Vs1W$G(JsW2ٰu*߻q*Y޵.Wi:ur5T),=0uRmho.twܖiYwrWHntvEj8qhf`Ͻpf(R&>Ki%I7$QӖm-2 ~yߗQ-앑/ x[k8nw.c㩵k}]FkbJl:{.(˩n0Hqvαp7 귎.Gupx[N`Yq'+ruU7[ү+>!xrȫoSo]OC# d^Q]\>!ƛGw^Mx"-+%vdX-:M2UR%d>%l ioSu6lsj7D P>XxHz Ukà(n^Q V>5cVtWj SEiJdznyej[lE' 3kuٌNn4JW)gB {4 j6&]' m-(ZMEz8cz>WZ6#7+[,MR-Z!4ܓtCyE|umj1ƽvƷV\;%>Q :#Le(iVz5 4ũۤUWxX ^(ҔsլB2w-V ^R+; ˂M\z+Uwr+RWY⺧~ Q*JcYSNSλUd8in=v K낫k\IRרSUaCFmϿ5̗P|u ZTԕ}>oYѲ1sfP+sQkX8Gb~6r,s>^\,mGL+7[n-E\.Fqḕcl*Jmjb5 ,m]c}NXfeVlǸJ5eˡ$4%g~N p4Y*WwW٧<8v#;qԩTut,m"#Y D\5V`\\Lȋ];LȇiS6ϝZ l>LruR\v=ǘϔDg=ԈdFZ+M{=|,[;0>RiSi4,S5}yxw&(E7&fݙ4UՕ! ~'Id)]ǽu2K-fޭ \08Vڅ쓬=Vy^^ IhyKR-B#Ըr=]mܻӾ'*Umkoy rTqT_i,/8Q^<ݤ|4ԻO(܄"'5N~#m.(Ҿ2i6Uev&I*<}҄$eNtÛzyWJubW^iBW.܅Wڮg]irO6Ve90sgv.+sV޿aޔ[p?3q*FutUo*eL\KM'EG*ZcAFfG5J 5jj=MJ3OK:k˝'NMB7m3uFҕ\-Ywg%PRqMIyZGY9|μvn߻5cWݷa^+X֥vnݘ\v7m>Fgzv"-;Ew֝}1|RjN𿊀7g#֟*GQQ|#/bo]p$>_Un9гUbn9׃ErQBU-^vDmVh'<R[fdHT]*~}3j;nvjc7s-rӳ Y8[n[1pJx kX[Jk9Mn!_Nю6x:iZ˦U |߉^Ԛ݃hYxk &U^bwKk.[jE+P(˞=9j@snCv7%c_7=xǁ<l {t'酚+1F‹l׭:ݻILruǶkL-L(K0L1&>wXB(pm;1fpnlp֓%Skidkt(U +xulo'/ڕeN r=^pZZ:Pnj8Hf"48ijY[ N[yZٻ+=  ø:3 ?^ܷ^Sr#YK[UF?CuhC b]GM')mڏsNrܗI]ljq6VB. W,UK"YX5{c >Iqā> T:n!,5l2VzCl|+I[*SrjnS6٨y+x,@>П.g+!rn9>N|W>OZT_ut Y""v7|sfި;Pclm EùN,{'fNT%U&LfH8~1v>Il}统u6P˗c(WV~H^bMU.o*oOF0N:_:6Smr_.b+|ݶYY غF,mwjv>f*>QM뭱Sd:`N{l/⎱;n-z~"Gze퇎J5S KG9!Gn;N1 ݎ h6m|S?ɂ5'WOÞ 7|7^ao @mxGmi^jϽ>01Mf0լD3-2T. VXR"ɥV Kl J O7|u?bvа;6.eߓ|[1bmRr,eRz`z 6܎-ͨku͹Fː dPhYgZUj}nvX;z=gVեTv_J }\1n7w2J?ޘγc\E 1Aޑzq;\r]]\Y&[nsNei\uURje*Qk2CSl*xJz-xٶlm+|UjUؓ`Ladqiĩ!Gd\W~fz;Tn*PdRM&T4`չSWq5k훶(N"Ӎ% V]֦wb.nUO!u*J&Oӕ2e|Z=eV쫚΅g#+/RW:طnbi*Wyo)p{:ETKؚR(RY+r웓r(IF) VmȵNB:h Q1ғ|u8E]{,'$-TR[j49l*3"I鯴zhd>Q+\BkNF=.$ZR4Nwհ(IpNi.(Gi33#33e$FXK*NdWrud[r{xnk$v2ıh+J1TQ[#JQl[tRO]LHKٮ NӍnF񨔤֞Em'MILB"ԋ%dBŋ+p̿_17jzT~4pc Vo\ƹb9Rq-'1j;8ܗ)hE%DZKS<璸Bu*%*Yw5ڻ9ۣ^z4U; Ñk\U(o~G?VUĎ:?P?_F_Kߤ~ᓾI |pr.Ok\SklRhҪz{­P .}SktZ7UQ4ڌIM8̈eaӊJZ%FFZu,KZvln廐SNFIVtuNi?CM5]+Ph,{jN JSR$IS^tSUVrORYu.9WyP6 [Kiu m!X|]Y79ӄ)\ģ)pbڳr%*&ꑶ_-H*dzk)1 V3')UAϹٶWRxe'պn۫h7AR9 EAJeGLms!%D| A 5]/Q3eb̄vnVn%za\m kZnv([emqrIҕij|""><hjJשvvǕ|Pޟs}V~2&Z?+2N&Z4w@)4iSڪ_>/JN9Hiۏuf8'It[ȲR.hZ$ȋ_Y ~U<UUO*6b)Ovzڜj\R̋.$FsQuҊj^נ䈈y<zZIuP[}Qm=C?zN(Exqu/kn S-FzKZzOסӽjJ\)F3b!r5ٝ|;6 o=-3*λ]αb\abqRi-w޵⦪~b8Kpo)Z=>)ғ"5/GTZLE-輵f7ݘ۹~+&+w/7GFI:l33fg.N~۲\2|*cnermnnM+Fq"ѪIz%j =YW8@~gc/~?N'?)«qȸs➟n=k" X“m֮VreMh2[uݖ] *FܖN)MȐ`f0 g,C9̑o;ddudJ=In13:ݒvvdMUEJLp^,6t-@͐9'{7m{-3,>hnF;ѰM)->>+Ěz!R* :`e--m7nB\u{b U>[8֪]6^ߤLʦ\DFNo$$dͶlgno8OrsQ\l̯hRo8tuNo+ CTxu!2[>ctFpeޓƻֶR"3QrQuOѳgwQr;S~)6HhZw/GgVTmUf_yt7%$];zLWF̰xy2Ʉu!MCmš_0[W6jf#a-KLi+3Q7c^qg%s<1aYIQeZf+}>;S6L0]Yu_h9߻<ƅpmiM$AVvŚ,*#t2.8Y)-Zhshü97/#Oro"u^/uFgWɺ,p:6a,^x%$Yve^3PƗMnTP&yS}OJ '덫MH^:rXԴJۋ/rI;S*,+yz1hv)Qw^ڍJ2oL׊q(\fDj:^T%vOadɂnS}ZO)N*λdaȜkG_PIEO}нa(^iQX᯦-7^)%g'SJx(.S9zVɴZ{E ))ۅi/s7 VIV-|sj0*UBTHIqRf>FP$KqN0 R̻8j\GcC}IUz\i 6F)Q{Gҧ3qSzKj-Az VЛS-zy:8*mNk|D鿓ND2u+0Yŝ7kqm·?8Ib]u>˗^_>(]vӋzv+ݩ){vZrJ2RQ몋C$z [,pp,8mڊbR]Il .f~d/ݓs㓓mͶ{mgjQwn=Oic9ܚm4Q/6ݨ[TƧ?nԶoytf{@AzT{e{[O'ZRZt~AGD?s3􌿂ՉIw'|~U\ w~di:Kޱ)U/sU%njѩ&GSP^ǝd)..!^U` 1wX[aԇSxoFV6_扐)T 2Mfd=ۖͭiZ7KK Bi9%7@<3<ճԻU,},a}FRqɛr i@ONJvK KLN M, ʖv0n-]DwlI-X6ܶ$Jʴh5O+mOI+Ra瞠\ MG7BفjYo1#͖0V`Ѱ2M?c8>-Crt*JkIGS:e#hPKx[鱼>{5m;wcն&>j-M֥^َ) 6yȜl_w{-ō̱r> U=]iw3)r*]:K]6BdCTZ|>gf}LW}[$'Y5 &c -j.z6R 67MԷFMnÌwI7w5E}o޽+K ֵy4܌ȥW"COyR[q5Ӱ͙f[v"_#q{MV6܍3"u9BK(41ӯqˇc${ߝCi6I(OmθzҜ5k^:>Jzw.>qV8{vU[ڶEm|DžBz].KHjI]x;Mɗ{m,qZXr忇2u^RO2Z}ZێS[2Jen!*NDcrBUً4<ǼMҲs1Zw57c3&ĖڻzmP*FuJG1-dN:|OU}ҵgi2t~F^^Z.VxjvŧnNNh<:]^~NN+ge^g.SԔGFe߯'[vn'(ScJ]kܗ7eJOlRrfziݮq̋S"\*U<*W]k$FջV}? 7g#֟*GQQ|#/bo]p$>_Un9;l S VvQU%OLU{οmU6bZ1MTx%!֙Q7, J=!3 ;Q,ڌ;6ͱ݅q^&ߔ·n #WbwӖX.HtG)N&d̵zpI,n cu ޖUj+VXUp[w]N o.J6Z8Ts&utxln;~HPHS/xw`G\ʡ¿rj Z^vt"[L:SD\h0sUwR,}[x^X,R2Vn< ]2YDr[SRKs8tXb̷G?Ps Tv 3be,zVz D[/I.KOEQrm'$7|[J>r S`5յwT#\w1FTz\Ԛ &"ׅhSHrD\'r]~/>p;:Piuu:"9ő=tTaS7V2rӷk7mb[^WmPp*[y.Þ6f]cizJCgRR@UVl큝.WJP1N{/\whZ ػϧӱE7|E֫Sί.x-Y&pi%v''-x6r'Ws*6=DwwUu]=C?MK [yrtܒG$!WGqJ*%SAz ED[^)/tė/g=#Omd.|^n/sl׉g DZqemqowݮRzUܜ=ڽ-o/Iۖ;qVʘgPp|mm;6zGl9.8pwWgsJ2qPbe}}UpNjٯ}7TMQKrؽtEx%v w߾8%|j;~|}pK]ơ/ w߾8%|j;~|}pK]ơ/ w&~e_H 8PL7:%ʭ5Kw&U2vwR_+rm'}C7#rWoO&HoG?M$UR7{FU]u ;# !Wk`|W>׹潇9Vn)6)*ҹ{%qV4q>W1vi#T"Qk&GwxcJBJ- Ϸ^ˁxkU}ԣ/3.;]J=<*)cS)ROK9H=,r zX @)cS)Da^ԽQ gxJI=w֣gf*TRj

#E-mail: whwang@postech.ac.kr, TEL: +82-54-279-2174
• Received: November 10, 2020   • Revised: December 7, 2020   • Accepted: December 9, 2020

Copyright © The Korean Society for Precision Engineering

This is an Open-Access article distributed under the terms of the Creative Commons Attribution Non-Commercial License (http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0) which permits unrestricted non-commercial use, distribution, and reproduction in any medium, provided the original work is properly cited.

  • 64 Views
  • 6 Download
  • 1 Crossref
  • 1 Scopus
prev next
  • Anodic aluminum oxide (AAO) is widely used in various industrial fields to increase the mechanical property or corrosion resistance of the product surface. In this study, mechanical properties were measured according to the thickness of AAO through the nanoindentation test. The maximum indentation load, elastic modulus, and hardness were measured for different thicknesses of AAO. It was confirmed that the majority of the mechanical property values increased with the thickness. Various fracture shapes based on the thickness were analyzed by observing pressure marks on the surface using FE-SEM equipment. Apparently, it is proposed that the optimum AAO thickness with desired mechanical properties can be obtained, which is expected to possess immense economic value as per the optimization of the production time of AAO based products.

Er

Reduced Modulus

E

Modulus of Specimen

Ei

Modulus of Indenter Tip

v

Poisson’s Ratio of Specimen

vi

Poisson’s Ratio of Indenter Tip

S

Unloading Stiffness

β

Correction Factor Dependent on Tip Geometry
알루미늄의 양극산화 공정은 산업제품의 표면 경도와 내부식성의 향상을 위해 주로 사용되고 있으며, 최근에는 생성된 산화층에 염료를 채워 심미적인 요소를 가미하기 위해서도 사용되고 있다. 스마트폰, 노트북과 같은 최신 전자기기를 비롯하여 냉장고, 세탁기와 같은 생활가전기기에도 두루 사용되고 있어 산업적으로 매우 가치가 높은 공정이다.
때문에 양극산화 공정을 통하여 생성된 양극산화 알루미늄(Anodic Aluminum Oxide, AAO)층의 기계적 특성을 정확하게 파악하는 것이 산업적으로 매우 중요하다.
나노압입시험은 하중과 변위를 정밀하게 측정할 수 있어 필름이나 코팅층 같은 소형 시편의 기계적 특성도 쉽게 측정이 가능하여 양극산화 알루미늄의 물성 측정 방법으로 사용되는 방법이다. 나노압입시험을 이용하여 Ng1과 Fang2 등은 압입 하중의 크기를 조절해가며 파단 및 기계적 특성을 측정하였고, Ko3-5와 Kim,6 Dai,7 Hu8 등은 나노허니컴 구조의 홀 직경에 따른 기공률(Porosity)을 변화시켜 기계적 물성치를 측정하였으며, Reddy9와 Vojkuvka,10 Datcheva11 등은 양극산화 공정에 사용되는 전해질용액에 따라 생성된 산화층의 기계적 특성의 차이를 비교 분석하였고, Ng12 등은 나노허니컴 구조의 정렬도에 따른 기계적 특성을 측정하였다.
위와 같이 다양한 조건을 변형시켜가며 양극산화 알루미늄의 기계적 물성을 측정하였지만 양극산화 알루미늄의 두께에 따른 물성 측정 연구는 거의 이루어지지 않았다. 특히 대부분의 연구가 양극산화 알루미늄의 홀 구조의 직경에 따른 기계적 특성 연구로 이루어져 있다. 하지만 원하는 두께에 따른 양극산화 알루미늄의 기계적 특성을 결정짓는 것이야말로 산업 분야에서 제품의 제작 시간을 최적화할 수 있는 중요한 요소이기 때문에 양극산화 알루미늄 층의 두께에 따른 기계적 특성 연구가 반드시 필요하다.
따라서 본 연구에서는 양극산화의 공정 시간을 조절해가며 다양한 두께를 갖는 양극산화 알루미늄을 제작하였다. 제작된 다양한 두께의 시편을 가지고 나노압입시험기를 이용하여 탄성계수 및 경도와 같은 기계적 특성과 압입 후의 압흔 형상을 비교 분석하였다.
실험에 사용된 시편은 Sigma-Aldrich에서 구입한 순도 99.999%의 알루미늄을 사용하여 제작되었다. 전해연마(Electropolishing) 공정에는 과염소산(Perchloric Acid)과 에탄올을 1 : 4의 부피비로 섞어서 사용하였으며, 양극산화 공정에는 옥살산(Oxalic Acid) 0.3M 수용액을 사용하였다. 실험에 사용된 모든 용액은 삼전화학(Samchun Chemical)에서 구입하였다.
2.1 양극산화 알루미늄 제작
알루미늄 표면에 내산 테이프를 붙여 원하는 부분에 산화층을 생성할 수 있도록 나머지 표면은 차폐시킨다. 5°C로 유지된 전해연마 용액 안에 알루미늄 시편을 양극에 백금을 음극에 연결한다. 20 V의 전압을 10분간 가압하여 전해연마를 진행한 뒤 증류수에 10분간 세척을 진행하여 전해연마 공정을 마친다. 전해연마 공정을 마무리한 시편은 불순물이 제거되어 표면이 거울처럼 반짝이게 된다.
양극산화 공정은 15°C 옥살산 수용액에 전해연마 공정이 마무리된 알루미늄 시편을 양극에 연결하고, 백금을 음극에 연결하여 40V의 전압을 가압하여 진행하였다. 양극산화 시간을 0분, 1분, 2분, 5분, 10분, 20분, 30분, 50분, 100분으로 각각 진행하여 양극산화층의 두께를 조절하였다.
2.2 나노압입시험
나노압입시험기는 MTS사의 Nano Indenter XP 시험기를 이용하여 측정하였다. Fig. 1에서 보이는 것과 같이 나노압입시험은 표면으로부터의 압입 깊이 h에 따른 압입 하중 P를 정밀하게 측정하여 아래와 같은 이론식을 통하여 탄성 계수 E와 경도 H를 산출해낸다. 본 실험에서는 총 압입 깊이(hmax)는 2 μm로 모든 시편에 동일하게 진행하였다.
(1)
Er=π·S2βA
(2)
1Er=1-υ2E+1-υi2Ei
(3)
H=PA
(4)
Ah=a0h2+a1h+a2h1/2+a3h1/4
Fig. 1

Indentation load vs. displacement13 (Adapted from Ref. 13 on the basis of OA)

KSPE_2021_v38n3_203_f001.jpg
식(1)에서 Er은 Reduced Modulus, S는 Unloading Stiffness, A는 접촉투영면적을 나타내며 β는 압입자 형상에 따른 상수로써 본 시험에 사용된 베르코비치 압입자(Berkovich Tip)에 경우 1.034의 값을 갖는다.
식(2)에서 E는 시편의 탄성 계수, υ는 시편의 포아송 비(Poisson’s Ratio)를 나타내며, Eiυi는 각각 압입자의 탄성 계수와 포아송 비를 나타낸다. 실험에 사용한 압입자의 경우 다이아몬드 재질을 사용하여 Ei는 1,141 GPa, υi는 0.07을 사용하였고, 본 시험에서 사용된 시편의 υ는 일반적인 양극산화 알루미늄의 포아송 비인 0.22를 사용하였다.
위의 식(1)식(2)를 이용하여 시편의 탄성 계수를 산출하고, 식(3)을 이용하여 시편의 경도를 구할 수 있다. 식(1)식(3)에서 사용된 접촉투영면적 A식(4)에서와 같이 압입 깊이 h값을 통하여 구할 수 있으며 a0-a2는 압입자에 따라 결정되는 상수이다.
2.3 압흔 형상 확인
나노압입시험 후의 양극산화 알루미늄의 표면에 생기는 압흔 형상의 차이를 확인하기 위하여 JEOL사의 고분해능 전계방출 주사전자현미경(High Resolution FE-SEM)을 이용하여 압흔 형상을 측정하였다.
3.1 양극산화 알루미늄
Fig. 2는 제작된 양극산화 알루미늄 시편의 산화층 두께를 FE-SEM 장비를 이용하여 측정한 자료이다. 전체적으로 양극산화 시간에 비례하여 고른 두께가 생성되었으며 약 118.8 nm/min의 두께 생성속도를 가진다.
Fig. 2

AAO Thickness vs. anodizing time

KSPE_2021_v38n3_203_f002.jpg
3.2 기계적 특성
나노압입시험에서 측정한 데이터를 기준으로 양극산화 시간에 따른 압입 하중과 변위의 관계 및 양극산화 알루미늄의 두께에 따른 탄성 계수와 경도를 분석하였다.

3.2.1 압입 하중과 변위

Fig. 3은 제작된 모든 양극산화 알루미늄 시편의 변위에 따른 압입 하중의 관계를 나타낸 그래프이다. 양극산화 공정 시간이 증가할수록 단위 깊이당 최대 응력이 증가하였고, 2 μm 압입 시 양극산화 공정을 진행하지 않은 순수 알루미늄 시편의 압입 하중 25.4 μN 대비 1분 동안 양극산화 공정을 진행한 시편의 최대하중이 15.6% 증가하였으며, 2분(28.9%), 5분(52.8%), 10분(76.2%), 20분(113.5%), 30분(189.4%), 50분(442.3%), 100분(875.9%) 각각 증가하였다.
Fig. 3

Load on specimen vs. displacement into surface

KSPE_2021_v38n3_203_f003.jpg
Fig. 4

Modulus vs. AAO thickness

KSPE_2021_v38n3_203_f004.jpg

3.2.2 탄성 계수

나타낸 그래프이다. 양극산화 공정을 진행하지 않은 순수 알루미늄 시편의 탄성 계수는 48.3GPa이 나왔다. 두께가 증가함에 따라 탄성 계수의 크기가 급격히 증가하지만 약 2 μm를 기점으로 탄성 계수의 증가 폭이 감소하기 시작하였다. 최종적으로 100분 동안 양극산화 공정을 거친 시편의 탄성 계수는 95.4 GPa로 순수 알루미늄 시편 대비 97.4% 증가하였다.

3.2.3 경도

Fig. 5는 양극산화 알루미늄 층의 두께에 따른 경도를 나타낸 그래프이다. Fig. 3의 탄성 계수와 마찬가지로 두께가 두꺼워짐에 따라 표면 경도가 급격히 증가하다가 약 2 μm를 기점으로 증가 폭이 감소함을 알 수 있었다. 순수 알루미늄 시편의 경도는 0.53 GPa이며 100분간 양극산화 공정을 진행한 시편의 경도는 4.55 GPa로 758.5% 증가하였다.
Fig. 5

Hardness vs. AAO thickness

KSPE_2021_v38n3_203_f005.jpg
3.3 압흔 형상
Fig. 6은 각 시편의 압입시험 후 압흔을 찍은 SEM 사진이다. 배율은 모두 4,000배의 배율로 측정하였으며 Scale Bar의 크기는 5 μm이다. 양극산화 공정을 진행하지 않은 순수 알루미늄 시편의 압흔은 Berkovich Tip의 형상과 일치하는 삼각뿔의 압흔 형상이 나타났다. 그 이후로 1분과 2분동안 양극산화 공정을 진행한 시편들의 압흔은 삼각뿔 형상의 면을 따라 수많은 미세 균열이 생기는 것을 확인할 수 있다. 5분 동안 양극산화 공정을 진행한 시편부터 균열의 개수가 줄어들고 파단면의 크기가 커지기 시작하여 10-30분 시편의 압흔은 중앙의 Berkovich Tip 모서리 형상의 삼각별 모양과 그 주변으로 매우 굵은 원형의 파단형상이 나타났다. 그리고 양극산화 공정이 50분 이상 진행된 시편의 압흔 형상은 순수 알루미늄 시편과 동일하게 삼각뿔의 형상으로 나타남을 확인하였다. 동시에 양극산화 알루미늄의 두께가 두꺼워짐에 따라 압흔의 크기가 점차 줄어드는 것을 확인할 수 있었는데, 순수 알루미늄의 압흔 형상의 한 변의 길이는 16.1 μm인 반면에 100분간 양극산화 공정을 진행한 시편의 압흔은 10.5 μm로 34.8% 감소하였으며 압흔 의 면적은 67.5% 감소하여 절반 이하로 줄어들었다.
Fig. 6

SEM images of pressure marks after nanoindentation

KSPE_2021_v38n3_203_f006.jpg
Fig. 7Fig. 3에서 보여줬던 변위에 따른 압입 하중의 그래 프를 각 시편별로 3 Points의 압입 결과를 나타낸 그래프이다. 위의 Fig. 6에서 나온 결과를 Fig. 7을 통해서도 다시 한 번 확인할 수 있다. 먼저 순수 알루미늄 시편은 그래프 곡선의 꺾임이나 흔들림 없이 매끄러운 곡선을 보여주고 있는데, 이는 압입 시에 파단이나 균열이 생기지 않음을 알 수 있다. 1분과 2분의 그래프에서는 곡선에 미세한 흔들림이 생기기 시작하며 자잘한 균열이 수없이 일어나고 있음을 알 수 있다. 양극산화 공정을 5분간 진행한 시편부터는 그래프상에 빨간색 원으로 나타낸 것 과 같이 커다란 꺾임이 생기게 되고 압입에 의해서 생기는 파단면의 크기가 커짐을 나타낸다. 그리고 그래프가 처음으로 꺾이는 지점의 깊이가 양극산화 알루미늄 층의 두께가 두꺼워짐에 따라 점점 깊어짐을 알 수 있다. 마지막으로 압흔의 크기에 관한 결과도 Fig. 1에 나와있는 최대 압입 깊이 hmax와 압입 후 생긴 압흔의 깊이 hf의 차이를 통하여 분석할 수 있다. Fig. 7에서 양극산화 알루미늄 층이 두꺼워짐에 따라 hf의 값이 점점 작아짐을 알 수 있고, 이는 시편에 생긴 압흔의 깊이가 작음을 의미한다. 따라서 양극산화 알루미늄의 두께가 두꺼워질수록 압흔의 크기가 작아짐을 알 수 있다. 위의 모든 실험 결과 및 자세한 수치를 Table 1에 정리하여 놓았다.
Fig. 7

Indentation load vs. displacement results of 3points for each specimen

KSPE_2021_v38n3_203_f007.jpg
Table 1

Nanoindentation results of AAO

Table 1
Anodizing time [min] 0 1 2 5 10 20 30 50 100
Thickness [nm] 2-3 151.2 226.2 624.9 1,228.9 2,371.7 3,619.7 5,467.0 12,038.0
Pmax [μN] 25.4 29.3 32.7 38.7 44.7 54.1 73.4 137.5 247.5
E [GPa] 48.3 53.0 49.5 60.2 66.8 77.8 80.5 85.0 95.4
H [GPa] 0.53 0.54 0.84 2.43 3.43 3.87 3.60 3.97 4.55
양극산화 공정 시간을 조절하여 다양한 양극산화 알루미늄 층의 두께를 갖는 시편을 제작하였다. FE-SEM을 이용하여 제작된 시편의 두께를 정밀하게 측정하였으며, 나노압입시험을 통하여 양극산화 알루미늄 층의 두께와 기계적 특성의 상관관계를 분석하였다. 최대 압입 시 발생하는 압입 하중은 양극산화 알루미늄 층이 두꺼울수록 증가하였으며 순수 알루미늄 시편 대비 최대 875.9% 증가하였다. 마찬가지로 두께가 증가할수록 탄성 계수와 경도 또한 증가하는 경향을 보였으나 두께가 얇을 수록 증가 폭이 크고, 점차 증가 폭이 감소하는 것을 확인하였다. 양극산화 공정을 100분간 진행한 시편의 탄성 계수와 경도는 순수 알루미늄 시편 대비 각각 97.4, 758.5% 증가하여 경도값이 양극산화층 두께에 더 큰 영향을 받음을 알 수 있다. 마지막으로 압흔 형상의 경우 양극산화 알루미늄의 두께가 얇을수록 미세한 균열이 다수 발생하며 Berkovich Tip의 삼각뿔 형상으로 압흔이 생긴다. 하지만 두께가 두꺼워짐에 따라 균열의 크기가 커지며 파단면이 원형으로 나타나며 균열의 개수도 줄어들게 된다. 50분 이상 양극산화 공정을 진행하여 일정 두께 이상으로 산화층이 두꺼워지면 파단이 일어나지 않으며 압흔의 형상 또한 Berkovich Tip 형상과 동일한 삼각뿔의 형태로 나타난다.
위의 결과를 통하여 양극산화 알루미늄의 두께에 따른 다양한 기계적 특성을 확인할 수 있으며, 양극산화 공정을 이용하는 다양한 산업 분야에서 원하는 기계적 특성을 만족하는 최적의 양극산화 알루미늄의 두께를 설정할 수 있다. 이를 통하여 제품의 제작 시간을 최적화할 수 있으며 제품의 생산 비용을 최소화하여 많은 경제적 이익을 얻을 수 있을 것으로 보인다.
본 연구는 2020년도 중소벤처기업부의 기술개발사업 지원에 의한 연구임(No. S2912210).
  • 1.
    Ng, K., Lin, Y., and Ngan, A., “Deformation of Anodic Aluminum Oxide Nano-Honeycombs during Nanoindentation,” Acta Materialia, Vol. 57, No. 9, pp. 2710-2720, 2009.
    10.1016/j.actamat.2009.02.025
  • 2.
    Fang, T. H., Wang, T., Liu, C. H., Ji, L. W., and Kang, S. H., “Physical Behavior of Nanoporous Anodic Alumina Using Nanoindentation and Microhardness Tests,” Nanoscale Research Letters, Vol. 2, No. 8, pp. 410-415, 2007.
    10.1007/s11671-007-9076-2
  • 3.
    Ko, S., Lee, D., Jee, S., Park, H., Lee, K., et al., “Mechanical Properties and Residual Stress Measurements in Anodic Aluminium Oxide Structures Using Nanoindentation,” Glass Physics and Chemistry, Vol. 31, No. 3, pp. 356-363, 2005.
    10.1007/s10720-005-0069-x
  • 4.
    Ko, S. H., Lee, D. W., Jee, S. E., Park, H. C., Lee, K. H., et al., “The Study on Properties of AAO (Anodic Aluminum Oxide) Structures with Hole Effect,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 21, No. 4, pp. 186-193, 2004.
  • 5.
    Ko, S., Lee, D., Jee, S., Park, H., Lee, K., et al., “Mechanical Properties and Residual Stress in Porous Anodic Alumina Structures,” Thin Solid Films, Vol. 515, No. 4, pp. 1932-1937, 2006.
    10.1016/j.tsf.2006.07.169
  • 6.
    Kim, Y. D., Lee, H. K., Jung, B. B., and Park, H. C., “Mechanical Property Measurements of AAO Nanohoneycomb Structure on the Porosity,” Proc. of the KSME Conference, pp. 1837-1841, 2008.
  • 7.
    Dai, J., Singh, J., and Yamamoto, N., “Nonbrittle Nanopore Deformation of Anodic Aluminum Oxide Membranes,” Journal of the American Ceramic Society, Vol. 101, No. 5, pp. 2170-2180, 2018.
    10.1111/jace.15367
  • 8.
    Hu, Z., Shrestha, M., and Fan, Q. H., “Nanomechanical Characterization of Porous Anodic Aluminum Oxide Films by Nanoindentation,” Thin Solid Films, Vol. 598, pp. 131-140, 2016.
    10.1016/j.tsf.2015.11.073
  • 9.
    Reddy, P. R., Ajith, K., and Udayashankar, N., “Micro and Nanoindentation Analysis of Porous Anodic Alumina Prepared in Oxalic and Sulphuric Acid,” Ceramics International, Vol. 42, No. 15, pp. 17806-17813, 2016.
    10.1016/j.ceramint.2016.08.109
  • 10.
    Vojkuvka, L., Santos, A., Pallarès, J., Ferré-Borrull, J., Marsal, L., et al., “On the Mechanical Properties of Nanoporous Anodized Alumina by Nanoindentation and Sliding Tests,” Surface and Coatings Technology, Vol. 206, Nos. 8-9, pp. 2115-2124, 2012.
    10.1016/j.surfcoat.2011.09.040
  • 11.
    Datcheva, M., Cherneva, S., Stoycheva, M., Iankov, R., and Stoychev, D., “Determination of Anodized Aluminum Material Characteristics by Means of Nano-Indentation Measurements,” Materials Sciences and Applications, Vol. 2, No. 10, pp. 1452-1464, 2011.
    10.4236/msa.2011.210196
  • 12.
    Ng, K. and Ngan, A., “Effects of Pore-Channel Ordering on the Mechanical Properties of Anodic Aluminum Oxide Nano-Honeycombs,” Scripta Materialia, Vol. 66, No. 7, pp. 439-442, 2012.
    10.1016/j.scriptamat.2011.12.010
  • 13.
    Al-Obaidi, R., “In Vitro Enamel Subsurface Lesions: Characterization and Treatment,” Ph.D. Thesis, Université Montpellier, 2018.
Jongseon Choi
KSPE_2021_v38n3_203_bf001.jpg
Ph.D. candidate in the Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH). His research interest is micro-nano morphology fabrication.
Hyundo Hwang
KSPE_2021_v38n3_203_bf002.jpg
Ph.D. candidate in the Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH). His research interest is anti-frosting effect.
Jonghyeon Jeong
KSPE_2021_v38n3_203_bf003.jpg
Ph.D. candidate in the Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH). His research interest is superoleophobic surface fabrication.
Woonbong Hwang
KSPE_2021_v38n3_203_bf004.jpg
Professor in Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH). He is currently full professor and heads Nano Structures and Composites System research group. His research interest includes fabrication and application of nanostructures, mechanics and mechanical characterization of nanostructures, adaptive structures and smart skins, optimum design of composite structures, fracture and fatigue of composite materials and engineering of creativity.

Download Citation

Download a citation file in RIS format that can be imported by all major citation management software, including EndNote, ProCite, RefWorks, and Reference Manager.

Format:

Include:

Measurement of Mechanical Properties according to the Thickness of Anodic Aluminum Oxide through Nanoindentation Test
J. Korean Soc. Precis. Eng.. 2021;38(3):203-208.   Published online March 1, 2021
Download Citation

Download a citation file in RIS format that can be imported by all major citation management software, including EndNote, ProCite, RefWorks, and Reference Manager.

Format:
Include:
Measurement of Mechanical Properties according to the Thickness of Anodic Aluminum Oxide through Nanoindentation Test
J. Korean Soc. Precis. Eng.. 2021;38(3):203-208.   Published online March 1, 2021
Close

Figure

  • 0
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 6
Measurement of Mechanical Properties according to the Thickness of Anodic Aluminum Oxide through Nanoindentation Test
Image Image Image Image Image Image Image
Fig. 1 Indentation load vs. displacement13 (Adapted from Ref. 13 on the basis of OA)
Fig. 2 AAO Thickness vs. anodizing time
Fig. 3 Load on specimen vs. displacement into surface
Fig. 4 Modulus vs. AAO thickness
Fig. 5 Hardness vs. AAO thickness
Fig. 6 SEM images of pressure marks after nanoindentation
Fig. 7 Indentation load vs. displacement results of 3points for each specimen
Measurement of Mechanical Properties according to the Thickness of Anodic Aluminum Oxide through Nanoindentation Test
Anodizing time [min] 0 1 2 5 10 20 30 50 100
Thickness [nm] 2-3 151.2 226.2 624.9 1,228.9 2,371.7 3,619.7 5,467.0 12,038.0
Pmax [μN] 25.4 29.3 32.7 38.7 44.7 54.1 73.4 137.5 247.5
E [GPa] 48.3 53.0 49.5 60.2 66.8 77.8 80.5 85.0 95.4
H [GPa] 0.53 0.54 0.84 2.43 3.43 3.87 3.60 3.97 4.55
Table 1 Nanoindentation results of AAO